产品名称：ULVAC爱发科纳米粒子形成装置

特点

• APD-P
  可对用纳米粒子
• APD-S
  可控制从nm级的膜厚到μm级的膜厚的脉冲数，可以容易地控制膜厚。

• 用途

  • APD-P（用于在粉末上加载纳米颗粒）
    使用纳米粒的燃料电池催化剂　排气催化剂　光触媒
    VOC分散催化剂　碳纳米管催化剂　等离子
  • APD-S（基板成膜用）
    金属薄膜（磁性　等离子　保护膜）
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• 规格

  型	APD-S型	ODA-P型
  样本量	基板 Φ 2 inch	粉末 容器尺寸（内部尺寸）  Φ 95mm × H 30mm  带搅拌机构
  标准沉积编号	1	1

  机制

  

  腔室抽真空后，触发器在目标杆表面引起电弧放电。然后从目标棒产生高度电离的金属等离子体，

  五大期货

  • 该系统可以通过改变聚光镜容量来选择大约1.5nm至6nm范围内的纳米颗粒直径。
  • 该系统可以使任何材料成为等离子体，以防它们是导电材料（目标）。
    *目标比电阻为0.01Ωcm以下
  • 该系统很容易通过改变大气产生氧化物和氮化物。
    此外，当石墨在 H2 气体中排出时，它会产生 UNCD（超纳米晶金刚石）。
  • 与湿法工艺相比，该系统所支撑的纳米颗粒显示出积极的催化作用。
  • APD-P 型支持纳米颗粒到粉末。
    APD-S 型支持纳米颗粒到 2 英寸基板。
    *上述 1、3 和 4 取决于文献。
  

  与传统的湿法催化剂相比，弧等离子体法负载在CeO2上的Pt和Pd催化剂对CO氧化的催化活性更高。
  引用文献：熊本大学町田教授的“教育部，要素战略项目成就”

  冷凝器容量与纳米粒径的关系

  

  

  系统支持铂到碳粉的透射电镜图像

  
  

• 没有任何放电气体，并沉积在基板上形成各种薄膜和纳米颗粒。