产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科超高温灯退火设备

  • 产品型号:HT-RTA59HD
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
SiC等高价试料和其他高熔点材料的小片试料通过聚光点加热实现高反射效率,可升温至超高温1800℃的桌上型超高温灯管退火设备。
详情介绍:
SiC等高价试料和其他高熔点材料的小片试料通过聚光点加热实现高反射效率,可升温至超高温1800℃的桌上型超高温灯管退火设备。

特点

  • 可在10秒内升至1800℃的超高温范围
  • 椭圆形反射面上安装大功率灯的聚光灯
  • Cold Wall结构可以快速加热/冷却和清洁加热
  • 桌面型,加热炉,腔室,温度控制器一体化
  • 通过连接了USB的PC可轻松输入温度程序
  • 加热时的温度数据可以显示在计算机屏幕上(可以保存为文本文件)

用途

  • SiC(GaN)功率器件工艺氧化膜形成和活化退火的研究开发
  • 其他半导体的研究开发
  • 玻璃基板、陶瓷、复合材料等的热处理
  • 陶瓷材料的热冲击试验
  • 各种热处理试验,如高熔点金属材料的烧结等
  • 作为温度梯度炉
  • 作为气体分析的加热炉

规格

温度范围 室温 ~ 1800°C
样品尺寸 正方形 15 × T1 (mm)
加热气氛 各种气体流量
热电偶 JIS B Φ0.3 (W-Re可用)

系统图

img_ht-rta59hd01-en.png

1. 用于灯泡冷却空气气体入口
2.气体出口
3.N2 气体入口
4.氩气入口
5.灯
6. 透明石英保护管
7. 透明石英保护管
8. 将样品移入/移出炉子的滑块(手动操作)

加热性能

img_ht-rta59hd02.png

*高实现温度

电源:7kW(*大)
测量:W-Re热电偶
加热气氛:N2 1L/min
达到温度:2157°C(加热至2000°C时约200°C/秒)

img_ht-rta59hd03.png

快速加热控制

温度配方:200°C/s 保温时间5分钟加热
气氛:N2 100cc/min
样品架 : 高纯碳
样品基座 : 高纯碳

样品架和基座

img_ht-rta59hd04-en.png

img_ht-rta59hd05-en.png缩略图的缩略图

效用

电源要求 交流 200V,单相 8kW
冷却水 0.3MPa 约5L/min
灯冷却气体 干燥空气 约200L/min
外形尺寸 (mm) 约W410 x D450 x H840(不包括突出部分)
重量 约45kg

选择

  • 真空排气系统(RP、DRY、TMP等)
  • 燃气管道系统(从**系统开始)
  • 冷却水循环器
  • 冷却空气发生器系统
  • 手持式点焊机 (HS-9000)
  • 手持式电弧焊机(HA-1H)
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