产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科红外线灯加热设备

  • 产品型号:QHC-P610C
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
用于从太阳能电池到化合物半导体等的工艺开发。
详情介绍:
用于从太阳能电池到化合物半导体等的工艺开发。
QHC系列是组合了红外镀金聚焦炉和温度控制器,更加紧凑地装备了石英热处理腔体的高速加热·高速冷却设备。
在个人电脑上能进行加热操作简单地数据管理。
加热操作可在电脑上进行,可轻松进行数据管理。

特点

  • 各种条件设定,从高速加热到低速加热
  • 多步循环加热
  • 通过气体冷却机构进行高速气体淬火和冷却控制
  • 通过PC轻松管理数据

用途

  • 太阳能电池基板的热处理
  • 氢环境下的热处理
  • 各种材料的基础研究用环境退火・热处理模拟器
  • 气淬热处理
  • 热循环测试 热冲击测试
  • 半导体材料的烧制和退火条件的检测
  • 2英寸晶圆研究用退火
  • 陶瓷控制环境下的热处理

规格

QHC、VHC-E410 QHC、VHC-P610C QHC、VHC-P616C
加热方式 聚焦光圆柱加热 平行光圆柱加热
温度范围 室温 ~ 1400°C 室温 ~ 1200°C
加热区 Φ15mm×100mm Φ50mm×100毫米 Φ50mm×150毫米
浸泡区 Φ10mm×80毫米 Φ40mm×80毫米 Φ40mm×120mm
冷却方式 从腔室内的石英喷嘴吹出气体

※1 加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容和材料而变化。
※2 其他规格要求,请随时与我们联系。

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