产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科简易型红外线灯加热设备

  • 产品型号:SSA-P610C
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
红外镀金聚焦炉和石英腔体构成的简易型设备。
详情介绍:
红外镀金聚焦炉和石英腔体构成的简易型设备。
由红外镀金聚焦炉及包含试料架的石英腔体构成的低价格的加热系统。

特点

  • 石英腔室可以选择气流型或真空型(标准是气流型)
  • 可选,可以使用气流型和真空型

用途

  • 化合物半导体的合金化
  • Si、化合物半导体のRTA
  • 陶瓷基板上的层压材料的烧制炉
  • 用于玻璃和陶瓷基板的退火炉

规格

SSA-E45 SSA-E410 SSA-P610C
加热方式 聚焦光圆柱加热 平行光圆柱加热
温度范围 室温 ~ 1400°C 室温 ~ 1200°C
加热区 Φ15mm×50毫米 Φ15mm×100mm Φ50mm×100毫米
浸泡区 Φ10mm×40毫米 Φ10mm×80毫米 Φ40mm×80毫米
加热室 石英室 Φ30(气体流量用) 石英室 Φ98(气体流量用)
样品架 船形石英支架 用于 2 英寸晶圆的石英支架
热电偶 JIS R型
温度控制器 TPC5000-32-1 TPC5000-62-1

※ 加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容和材料而变化。

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