产品名称：ULVAC爱发科红外线灯加热设备

*大6英寸的灯管退火设备。

用于个别半导体工艺的硅化物形成和化合物半导体的工艺退火

特点

• Cold Wall结构不会造成重金属污染

  用途

• 可以实现Si晶圆的急速热处理

  规格

• 型号	RTP-6型
  温度范围	室温~1000°C
  样品尺寸	4inch~6inch晶圆尺寸
  测量环境	气体中、气流中、大气中
  应用	涡轮分子泵/回转泵排气组 冷却水循环设备 高温计控制 SiC碳板

  

  加热室

  宪法

  • 红外金像炉
  • 热处理室
  • 可编程温度控制器
  • 9区输出单元
  • 量程更换单元
  • 燃气管道系统
  • 热风排气系统
  • 框架・开关板
  • 高温计（可选）
  • 冷却水循环系统（可选）
  • 真空排气系统（可选）

  系统图

  

  效用

  外形尺寸	约W600 x D1000 x H1700 （mm）（不包括突出部分）
  重量	约300kg
  电源要求・接地	三相交流200V 30kVA，D型
  冷却水	城市用水15L/min以上，0.3MPa以上
  真空排气口	KF-25型
  气体端口	输入：1/4 世伟洛克接头（或同等产品） 输出：3/8 世伟洛克接头（或等效产品）
  热风出口	约Φ50短管