产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科红外镀金聚焦炉

  • 产品型号:P410CP
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
通过红外线灯加热的红外镀金聚焦炉作为研究开发设备和生产设备应用于多个领域。 从高速加热到广域加热都可满足客户的需求。
详情介绍:
通过红外线灯加热的红外镀金聚焦炉作为研究开发设备和生产设备应用于多个领域。
从高速加热到广域加热都可满足客户的需求。

特点

  • 具有抛物反射表面的平行红外光,可以均匀地加热大面积区域

用途

  • Si、化合物半导体的RTA
  • 玻璃・陶瓷基板的退火炉
  • 金属环境退火炉
  • 复合材料的耐热评估炉
  • 高温张力・雅俗试验用加热炉

规格

  • E型
  • VHT型
  • P型

img_rhl-e-vht-p-series_01-5.jpg

*1 加热方式 *高加热
温度
*2
加热长度
(发光长度)
灯电压
输入
E110L 聚焦光单表面加热 265毫米 200V 2.0kW
E25N 聚焦光圆柱加热 1100°摄氏度 140毫米 100伏 2.0kW
E25P 1300°摄氏度 200V 2.4kW
E45N 1100°摄氏度 100伏 4.0kW
E45P 1400°摄氏度 200V 4.8kW
E410N 1100°摄氏度 265毫米 200V 4.0kW
E410P 1400°摄氏度 8.0千瓦
VHT-E44 1700°摄氏度 100毫米 200V 8.0千瓦
VHT-E64 12.0kW
VHT-E48 1800°摄氏度 225毫米 480伏 24.0kW
VHT-E68 36.0kW
P44CP 平行光圆柱加热 1200°摄氏度 100毫米 100伏 4.0kW
P48CP 200毫米 200V 6.4千瓦
P410CP 265毫米 8.0千瓦
P65CN 900°摄氏度 140毫米 100伏 6.0kW
P65CP 1200°摄氏度 200V 7.2千瓦
P610CN 900°摄氏度 265毫米 6.0kW
P610CP 1200°摄氏度 12.0kW
P810CN 900°摄氏度 8.0千瓦
P810CP 1100°摄氏度 16.0kW

*1 型号含义

对于 E410N

E:反射面型
E : 椭球体反射 , P:P阿拉伯反射
4 : 灯泡数量
10 : 灯长
N : 加热方式, 灯型
L : 线性聚焦灯 , C : 圆柱加热 , N : N 灯 , P : P 灯

*2 *高加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容和材料而变化。

・加热炉需要冷却水,敬请谅解。
・加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容和材料而变化。
・有关其他规格要求,请随时与我们联系。

原则

红外灯的辐射光谱分布

img_rhl-e-vht-p-series_02-en.png
1.辐射加热

红外金像炉是以高能量密度的红外灯为加热源的辐射加热炉。
炉体采用水冷铝合金,红外线反射面抛光镀金,反射率高。

2.红外线灯

将钨丝密封在石英玻璃制成的管中,其光谱的峰值在近红外区域约为1.15μm。
红外灯提供的能量密度是传统加热元件的 10 到 15 倍。

3.反光板

反射器以高精度曲率加工,以增强反射率并防止劣化。
由于其形状,反射器有两种类型,一种是椭圆形,另一种是抛物线型。RHL-E和VHT-E系列具有椭圆形反射器,适用于棒状样品的加热,另一种型号:RHL-P,RHL-Ps和RHL-Pss系列具有抛物面式反射器,适用于片状样品。

E型

*大热速测试

img_rhl-e04-en.png

窑炉:E410P
样品:W10×L50×t1 (mm)
大气:空气
材质:SUS板

VHT型

使用超高温炉进行*大热速测试

img_vht-e04-en.png

窑炉:VHT-E68
样品:Φ12×L30 (mm)
大气:N2 流动期间
材质:碳素

P型

*大热速测试

img_rhl-p04-en.png

窑炉:P610P
样品:W20×L50×t0.8 (mm)
大气:空气
材质:SUS板

Temperature uniformity test

img_rhl-p05-en.png

Furnace:P610CN
Sample:W50×L100×t4 (mm)
Atmosphere:During N2 flow
Material:Carbon plate

Multi step heat test

img_rhl-p06.png

Furnace:P610CN
Sample:W50×L80×t0.5 (mm)
Atmosphere:During N2 flow
材质:SUS板

按气体类型划分的冷却速度

img_rhl-p07.png
窑炉:P610CP
样品:W50×L80×t0.5 (mm)
材质:SUS板
流量:10 L/min
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