ULVAC爱发科小型蒸发设备 VPC-061 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。

详情介绍：

将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。

特点

型		VPC-061型
真空性能	极限压力	1.3×10^-3 年利率 6.6×10^-4Pa（液体氮气使用时）
真空性能	排气时间	4.0×10^-3Pa/20分钟 1.3×10^-3Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽	真空槽	玻璃钟罩（Inner diameter Φ150mm× Height 200mm）
	馈通圈	3 口（底部 3 个）
	基板推荐尺寸・*大尺寸※1	□25mm ・ □50mm（*大）
电源系统统	蒸发电极构成	单点公式
电源系统统	蒸发电源・数量	SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A（Max）
排气系统统	主泵	油扩散泵（空冷）　50L/sec
	液体氮气捕集器	有
	辅助泵	油回转泵 20L/min
	油雾捕集器	选项
操作系统	主阀	蝶阀
	辅助阀	三通阀
	自动泄露阀	ー
	操作	手动
控制系统	皮拉尼真空计	选项
控制系统	电离真空计	选项
设置	*大尺寸 (本体)	434mm（宽）×422mm（深）×673mm（高）
	电源	480mm（宽）×435.3mm（深）×149mm（高）
	质量　　　　本体	28公斤
	电源	40公斤

※1：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。