产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科EB电源

  • 产品型号:HPS-1600F-S101
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
ULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。 配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。
详情介绍:
ULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。

特点

  • 不需要冷却水
    强制空冷系统,不需要冷却水
  • 可靠性高
    作为设备制造商经验积累的成果
  • 简易的操作性
    操作面板使用液晶触摸屏,操作性得到提升。
  • 扫描波形变化
    可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
  • 高速电弧中断功能
    通过高速电弧中断*大限度地减少成膜率
  • 低水平电弧控制功能(光学应用可选)
    控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜

用途

  • 金属膜用真空沉积

规格

HPS-510S型 HPS-1600F-S100
HPS-1600F-S200
HPS-1600F-S101
输入规格 输入电压 三相,AC190~231V
输入容量 7kVA的 21kVA 22kVA 21kVA
输出规格 额定输出功率 5kW 16kW
电压 -4k~-10kV
纹波率 2%p-p以下(额定功率时)
光束电流 0~500mA 0~1600mA
冷却方式 强制风冷
尺寸
W×D×H
电源 480×620×300毫米 500×700×710毫米
喷枪控制器 480×480×149毫米
重量 电源 50公斤 113公斤 136公斤 113公斤
喷枪控制器 20公斤 17公斤
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