ULVAC爱发科金属膜用EB枪 EGL-80M 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

EGL-80M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有*大输入功率16kW的4个切换式坩埚，每个坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。

详情介绍：

EGL-80M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有*大输入功率16kW的4个切换式坩埚，每个坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。

特点

加速电压		-4kV～-10kV DC
发射电流（MAX）		1.6A（加速电压-10kV時）
*大输入功率		16kW（-10kV、1.0A）
X轴偏转线圈		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内）
Y轴偏转线圈		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内
灯丝		0～6V AC MAX 50A
坩埚	容量（数）	110cc (4个)
	尺寸	75Φ×57Φ×32H
电子束偏向角度		270°
有效蒸发角度		100°以上
蒸发速度		4μm/min以上（A\| 16kW,坩埚真上250H）
冷却水量		坩埚：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）线圈：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水温		15～25℃
炉膛位置检测机构（可选）		接点数：NO接点　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形尺寸		318L×265W×168H
重量		30kg
适用电源		HPS-1600F（高功率规格）

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