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- SPAIR日信工具
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产品详情
简单介绍：
EGL-103S型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有*大输入功率6kW的直动型3点切换式蒸发舟。
坩埚容量为10cc3个，适用于超高真空的实验、小规模生产。
详情介绍：
EGL-103S型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有*大输入功率6kW的直动型3点切换式蒸发舟。
坩埚容量为10cc3个，适用于超高真空的实验、小规模生产。
特点
- 采用直接作用型的10cc三点切换坩埚，适用于超高真空的小规模生产。
- 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
- 即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本**831485号.843447号）
- 电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
- 发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV | |
| 电子束电流 | 0.6Amax (at-10kV) | |
| *大输入功率 | 6kW (-10kV, 0.6A) | |
| X轴偏转线圈 |
0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃） |
|
| Y轴偏转线圈 |
0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃） |
|
| 灯丝 | 0～6VAC 50Amax | |
| 坩埚 | 容量 | 10cc |
| 尺寸 | 35Φ×31Φ×11H | |
| 电子束偏向角度 | 270° | |
| 有效蒸发角度 | 90°以上 | |
| 冷却水量 | 坩埚 | 10L/min 7kg/cm2G（*大圧力） |
| 坩埚盖板 | 2L/min 7kg/cm2G（*大圧力） | |
| 水温 | 15℃～25℃ | |
| 外形尺寸 | 313W (MAX)×108H×250D | |
| 重量 | 约16kg | |
| 适用电源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 备注 |
建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。 *大30 x 30 mm 烘烤温度*高为120℃，但要保持冷却水流经炉膛和炉膛甲板 |
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