产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科RF电源选配件

  • 产品型号:EXO-13
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
该装置是高频电源的外部振荡源 。额定信号可以在13.56MHz的单频下输出。 另外,本装置还配备了1~4个BNC输出端口,*多可同步4台电源进行同相的高频振荡。 ※ 连接电源外部输入端子应为50Ω,10mW以上100mW以下即可工作。
详情介绍:
该装置是高频电源的外部振荡源 。额定信号可以在13.56MHz的单频下输出。
另外,本装置还配备了1~4个BNC输出端口,*多可同步4台电源进行同相的高频振荡。
※ 连接电源外部输入端子应为50Ω,10mW以上100mW以下即可工作。

特点

  • 可以同步多达4台RF电源的相位。
  • 通过相簇消除功能实现低成本。

规格

型号 EXO-13
输入规格 输入电压 单相 AC90~110V
输入容量 10VA以下
输出规格 振荡频率 13.56MHz±0.05%
外形尺寸 W×D×H 145×110×44mm (不包含凸起部分)
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