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产品详情
简单介绍：
RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。
详情介绍：
RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。
装载高效率RF放大器实现了小型·轻量化。
另外，RF电源内置自动匹配控制器功能，仅从主机单元就可以对RF电源进行电力控制及匹配系统控制。
特点
-
高效率
配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。 -
快速自动匹配
快速算法实现快速自动匹配。 -
RF电源内置自动匹配功能
只有主机才能进行匹配系统控制。
可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器 -
灵活的控制
外部模拟控制，可实现串联通信控制。 -
可靠性高
对作为设备制造商所积累的设计经验。
用途
- 溅射设备
- CVD设备
- 等离子蚀刻设备
- RF离子源
- 中和剂
规格
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