ULVAC爱发科DC脉冲电源 DC-5-P 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

DC-P系列是对反应性工艺中产生的电弧有效的电源。由于设定了的周期性反转输出电压，中和靶材表面积蓄的电荷，实现了良率和产能的提高。

详情介绍：

DC-P系列是对反应性工艺中产生的电弧有效的电源。
由于设定了的周期性反转输出电压，中和靶材表面积蓄的电荷，实现了良率和产能的提高。

特点

型号	DC-5-P	DC-10-P
输入电压	AC208V
变动范围	AC187～229V
相数、频率	3相 50/60Hz
输入容量	8kVA	13.5kVA
*大额定功率	5kW	10kW
额定电流	12.5A	25A
额定电压	650V/800V^※1
振动频率	5kHz ～ 250kHz
反向脉冲宽度	0.4μs ～ 5μs 0.1μs可逐个选择^※2
控制方式	额定功率控制(P控制)/额定电流控制(I控制)/定电压控制(V控制)
控制精度	额定输出的±0.5％以下或设定值的±1％，以较大者为准
控制保证范围	额定功率控制　额定功率值の10 ～ 100%
并列运转	主/从*多可以控制6台（可以是同一型号）
外部控制	类似物/数字,RS-232C,RS-485
冷却方式	强制空冷
外形尺寸（W×D×H)	483mm×630mm×133mm（不包括凸起部分）
质量	29kg	36kg
符合标准	CE / SEMI F47 / RoHS指令

动作周围温度5°C～40°C（不结露）
动作环境：避免阳光直射，高温，灰尘，振动和腐蚀性气体
※1： 155kHz的振动频率选择时，额定电压为650V。
※2： 81KHz时，*大反向脉冲宽度受到限制。

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