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产品详情
简单介绍：
A2K系列是在反应性溅射工艺中，在DC电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。
详情介绍：
A2K系列是在反应性溅射工艺中，在DC电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。
特点
-
高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率 -
基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损 -
控制基板的问题
与RF溅射相比，可以降低基板温度 -
简单的连接性
可以连接到现有设备 -
可变的反向脉冲频率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用 -
脉冲同步系统
可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3 -
主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K*多可以6台并联运行
应用：脉冲同步系统
当同一个腔室内阴极互相靠近相对，或者，当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4
*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和并行操作。
*3：A2KH-25需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（Pulse link cable）
用途
FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备
产品留言
