产品名称：ULVAC爱发科小容量DC电源

溅射用DC电源DCS系列，基本的性能自不必说，更是高性价比，并且使用领域广泛。
同时，与异常放电防止单元(A2K)组合，在反应性溅射中也能充分发挥其威力。

特点

• 输出可控性提高（可在额定值的1到100％范围内操作）
• 无需切换也能实现宽范围输出
• 标准配备2种异常放电检测功能
• 隔离外部噪音控制（可选）
• 可以选择三种操作模式（恒定功率，恒定电流，恒定电压）
• 浮动高达+100 V
• 用途
• 用于Al,Ni等金属溅射用和偏压DC电源

  规格

  型		DCS0052B
  *大输出功率		500瓦
  输出范围	权力	5W~500W
  	电压	80V~800V
  	当前	0.0012A~1.25A
  外形尺寸 （WDH） mm		约240 x 450 x 99
  重量		9公斤