产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科小容量DC电源

  • 产品型号:DC-4
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
DC-2和DC-4是2kW和4kW输出功率的溅射用DC电源。 通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。
详情介绍:
DC-2和DC-4是2kW和4kW输出功率的溅射用DC电源。
通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。

特点

  • 高控制精度
  • 即使在10%或更低的低功率区域内,也可以实现设定值±1%的高精度输出
  • 宽精度保证
  • 1~100%的宽功率精度保证
  • 重量轻・节省空间
  • 轻巧,节省空间的设计,安装更方便
  • 不需要冷却水
  • 强制空冷系统,不需要冷却水。
  • 高可靠性
  • 作为设备制造商的经验累积成果。

    用途

  • R&用于溅射设备 ・各种成膜设备的偏压电源

  • 规格

    DC-2型 DC-4型
    输入规格 额定输入电压 AC208V/220V
    输入电压波动范围 180 至 242VAC
    相位、频率 三相,50/60Hz
    输入容量 3.5kVA 6.2kVA
    输出规格 *大额定功率 2kW 4千瓦
    额定电流 5安培 10安培
    额定电压 800伏
    输出极性 负极性
    异常放电控制 逆变器停止关闭或谐振停止
    控制 控制方式 恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒压控制(V控制)
    控制精度 设定值的 ±1%(在我们的规定电阻值中。
    控制补偿范围 恒功率控制,额定功率值的1-100%
    并联操作
    接口 模拟/定量,RS-232C 或 RS-485
    冷却方式 强制风冷
    尺寸(W×D×H) 241mm×610mm×133mm(不含突起部分)
    重量 15公斤
    适用标准 CE/SEMI F47/RoHS

    环境工作温度 5°C ~ 40°C(无凝露)
    操作环境:避免阳光直射、高温、灰尘、振动,且无腐蚀性气体。



产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

京公网安备 11030102010384号