产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科大容量DC电源

  • 产品型号:DC-30-44H-E
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
是30kW高阻抗规格溅射用DC电源
详情介绍:
是30kW高阻抗规格溅射用DC电源。

特点

  • 通过高速电弧中断回路实现超低电弧能量。 有助于提高生产力和产量。
  • 1200 V输出,可对应高阻抗负载。
  • 支持EtherCAT,有助于减少设备的布线。

用途

  • FPD用溅射设备
  • 半导体用溅射设备
  • 触摸屏用溅射设备用
  • 工业涂层用溅射设备

规格

DC-30-44H-E
输入规格 输入电压 三相交流 396 至 484V
输入容量 41.5kVA以下
输出规格 额定功率 30kW
额定电流 55安培
额定电压 -1200V
点火电压 -1500V
异常放电控制 检测到异常放电时,停止逆变器或用高速电弧切断电路关闭
控制 控制方式 额定功率控制 (P 控制 )
额定电流控制 (I 控制 )
额定电压控制 (V 控制)
控制精度 P控制:小于额定输出的±0.5%或设定值的±1%,以较大者为准。
I 控制:小于额定输出的 ±1% 或设定值的 ±2%,以较大者为准。
V控制:额定输出的±1%以下或设定值的±2%,以较大者为准。
控制保证范围 额定功率值的 10% 至 100%
外部接口 RS-232C 或 485、EtherCAT
并联操作 *多 12 个单位
冷却方式 强制风冷
尺寸 W×D×H 483×650×177mm(不含突起部分)
重量 45公斤
适用标准 CE/ SEMI F47/ RoHS
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