产品名称：ULVAC爱发科大容量DC电源

可选功能

销售四个升级包，以满足客户的需求。 具有其他品牌DC电源所不具备的独特且高性能的功能，能够解决客户亟待解决的工艺问题，提高薄膜性能。

1. ｈigh performance RAMP
通过控制放电前的输出（点火操作），可以抑制放电开始时的输出跳变，在放电后立即获得稳定状态的功能。

直流电源中的RAMP功能通常用于放电后的输出控制。 而我们专注于放电前的输出控制。 放电后进行输出控制，可能无法立即获得稳定的放电状态。 此新功能通过放电前的输出控制（点火操作），可以抑制放电开始时瞬时增加的功率，从而稳定放电。

2. High control accuracy
实现了高精度输出和可靠的连续重复性。

设定输出的保证值范围在标准值的10%~100%的范围内，低于10%在非保证范围内，但是追加了升级包的设备的保证值从1%开始保证。 此外，即使在重复数千或数万次开/关的过程中，输出变化也很小，并且可以保持高可重复性。

输出重复精度（σ：0.74W）

3. High Speed ARC handing
新的 ARC 控制功能，可实现****的 5μ秒ARC切断时间。

直流电源在感应到异常放电时会瞬间切断输出，但如果该切断时间太长，则可能无法恢复放电。 本升级包的功能可*大限度地缩短切断时间，便于维持放电，实现工艺稳定。 另外，短切断时间也可以缩短成膜材料清洗的预溅射时间。

4. Superior performance ARC handing
DC电源自身判断异常放电水平并决定切断的时间，能够执行*佳的保护功能。

一般的直流电源只能进行1种模式的切断设定。 但是，其切断往往不适合当时的状况，之后的成膜工艺效率也会降低，有时会马上再次发生异常放电而反复切断。 此新功能通过DC电源自身判断异常放电水平并决定切断的时间，可以降低异常放电的复发概率，实现成膜工艺的效率化。 这些功能升级包可以单独或多个同时添加到DC电源中。

自动判断ARC截止时间