ULVAC爱发科水晶式成膜控制器 CRTM-6000G 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

CRTM-6000G 水晶振荡式成膜控制器，具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。尺寸紧凑，可以对应低速率控制和*多99层的多层膜连续蒸发控制。

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CRTM-6000G 水晶振荡式成膜控制器，具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸紧凑，可以对应低速率控制和*多99层的多层膜连续蒸发控制。

特点

Film thickness/rate resolution	0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz)
Film thickness display range / display resolution/td>	0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
Deposition rate display range / display resolution	0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
Supported sensor frequency	5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attached	Single sensor:：2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. ) Multi sensor：1
Sampling rate	125ms
Number of multilayer film layers supported	99 layers
Number of deposition programs	99
Digital I/O	Input : 12channels programmable Output : 12channels programmable
Analog outputs	3ch programmable
External dimensions W×D×H	240mm x 350mm x 99mm

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