产品名称：ULVAC爱发科反应性气体分析仪

特点

• 可以在反应过程中长时间进行稳定的测量
• 采用具有磁场的Claude离子源
• 软电离可防止在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少
• 紧凑型流量控制阀
• 处理室到离子源的距离很短，可以快速响应分辨率
• 可以测量宽范围的压力10^-6 to 13kPa（口径可选）
• 无需电脑也可以测量
• One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
• 连接传感器单元时，*大可以进行120℃的高温烘烤
• 离子源，二次电子倍增管的预防性维护分析管加载了可追溯性（**申请中）
• 可进行氦气检漏，漏气测试
• 标准搭载软件（Windows 8/10/11）

• 用途

  • CVD/ALD/蚀刻设备
  • 监测工艺中的反应气体
  • 蚀刻和清洁工艺的末端监测
  • 残留气体测量
  • 检漏

  规格

  型号	RGM2-202	RGM2-302
  传感器
  质量分离方式	四极型质量分析仪
  质量数范围	1～200 amu	1～300 amu
  分解能	M/△M=1M (10%P.H.)
  检出器	SEM/法拉第杯
  感度	1×10-3 A/Pa
  *小检知分圧	1×10-10 Pa
  离子源	带磁铁的闭合离子源
  灯丝	V字型 Ir/Y2O3 1个
  电力电压	20～70 eV
  放射电流	10μA
  放大器范围	1×10-5～1×10-12 A
  可烘烤温度	120℃
  差動排气系统
  气体导入阀	带孔流量控制阀
  *大采样压力	13kPa
  差动排气系统	带中间排气，吹扫的涡轮分子泵。
  涡轮分子泵	67L/s：N2
  前级泵	DIS090
  皮拉尼真空计	SW1-1
  电离真空计	GI-M2
  质量	排气系：57kg／控制系：38kg
  效用
  电源电压	AC100V 15A
  压缩空气	Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6一触式配件)
  控制器单元
  One Click功能	有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
  PC交互	RS-232C / 485
  外部入输出	类似物输入2点（0-10V）
  	设定点输出2点（异常、警告）
  	外部联锁（压力保护）
  其他
  烘烤加热器	带式加热器
  高度调整架	标准
  传感器部一控制部链接电线	约5m
  接口	Ethernet
  软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
  选项	PC