ULVAC爱发科残留气体分析仪 BGM2-202 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科残留气体分析仪
产品型号：BGM2-202
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。*适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

详情介绍：

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。*适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

特点

性价比优异的通用规格
测量质量范围 1～100 amu
显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
增强检漏功能
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE

用途

真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
冷冻干燥设备的残留气体分析
研究开发用途的各种气体分析

规格

分辨率 M/△M=1M（10% P.H.）

型	BGM2-101型	BGM2-201型	BGM2-102型	BGM2-202型
大容量过滤器类型	四极杆
质量范围	1~100 AMU	1~200 AMU	1~100 AMU	1~200 AMU
探测器类型	Faraday cup		EM tube Faraday cup
敏感性	10^-7A/PA系统		4A/PA型
*小可检测分压	10^-8Pa		10^-12Pa
*大工作压力	1x10^-2Pa
总压力函数	有能力/10^-2〜10^-5Pa
一键式功能	支持 /He/H₂O/N₂/O₂/任何气体
一键式检漏功能	Capable
电源输入	DC24V±10% 50W
传感器*高工作温度	120°摄氏度（248°华氏度）
*高烘烤温度（去掉电子元件）	250°摄氏度（482°华氏度）
工作温度范围	10 至 40°C（50 至 104°F）
软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
适用标准	CE

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