产品名称：ULVAC爱发科气体分析仪

反应过程气体监视器Qulee RGM2-201F是Qulee系列的对应蚀刻、CVD、ALD装置等反应性气体的带差动排气系统的过程监视器。 由于ULVAC独特的离子源和排气系统结构，对反应性气体具有优异的耐腐蚀性，可以长时间稳定测量。

特点

• 排气系统和控制系统集成，实现纵向放置，即使在空间有限的生产线上也可以进行反应气体监测，
• 因为足迹是世界上*小的。
• 在维护期间，灯丝套件的更换速度大大提高2名工人在10分钟内完成了120分钟的工作。
• 使用双灯丝，即使**根灯丝断线，也可以在不停止生产线的情况下进**体分析。
• 采用触摸屏，可以实时检查情况。
• 从启动到测量的操作仅在个人计算机上完成。
• 采用敝公司独特的带磁铁的Closed Ion Source,即使在反应性过程中也可以长时间稳定测量。
• 由于具有低气体解离和高灵敏度的电离室，因此仅使用法拉第杯就可以进行高灵敏度的气体分析。
• 一种紧凑的流道控制阀，可防止热反应引起的分解和吸附。
• 缩短了从工艺室到离子源的距离，可以快速响应分解。
• 增强预防保护功能
  离子源，二次电子倍增管的预防性保护
  安装分析管的可追溯性功能 (**5016031号)
• 标准软件与Windows 8/10/11兼容。

用途

CVD·酒精性肝病·Etching装置

• 过程中反应气体的监测
• 蚀刻清洗过程的端点监视器
• 残余气体测量

规格

传感器