产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科低温泵

  • 产品型号:CRYO-U20H
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
详情介绍:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 10,000
18,000
8,400
29,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.7×103(12.8)
5.0×102(3.7)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 5.8×108(4.4×106)
4.6×106(3.4×104)
冷却下降时间
(动力循环)
min(Hz) 160/140(50/60)
吸气口法兰 UVG-500,20BANSI,ISO-500
压缩机组 C30PVRT
重量 Kg 72.0

*维护周期:16,000小时

外形尺寸(单位:mm)

u20h_e.gif
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