产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科低温泵

  • 产品型号:CRYO-U8HSP
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
详情介绍:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 与CTI低温泵CT-8完全兼容。
  • 氢气的排气性优于CT-8
  • 可以多台运行(*多3台)

标准规格

排气速度(20℃) L/s 1,700
2,700
1,400
4,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
2.4×102(1.8)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.6×105)
1.0×106(7.6×103)
冷却下降时间
(动力循环)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸气口法兰 UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机组 C10, C10AT, C10ES
重量 Kg 20.8

*维护周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

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