ULVAC爱发科低温泵 CRYO-U4H 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科低温泵
产品型号：CRYO-U4H
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

详情介绍：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

*大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机*多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	450
	氢		500
	氩		370
	水		1,100
极限压力	Pa		10^-7
*大流量	氩	Pa・L/s	1.3×10³
排气容量	氩	Pa・L	1.0×10⁷
排气容量	氢	Pa・L	1.5×10⁵
冷却下降时间	min(50/60Hz)		45/50
重量		Kg	14.5

外形尺寸 (单位:mm)

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