产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科离子泵

  • 产品型号:PST-100CX
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
溅射离子泵用于为各种分析仪和加速器创造超高真空。
详情介绍:
溅射离子泵用于为各种分析仪和加速器创造超高真空。
ULVAC 的溅射离子泵旨在应用新元素并优化磁场,以改善超高真空和极高真空下的抽真空特性。

特征

  • 可用于极限压力 (10-9Pa 订单)ULVAC 通过符合 ISO 标准的测试圆顶获得了订单。
  • 惰性气体增强型泵送模型(AU 型)的泵送性能提高了一倍(与 ULVAC 的传统泵相比)
  • 高抽速达到超高真空
  • 在短时间内抽至超高真空
  • 在超高真空下具有**的泵送特性(在超高真空下保持排放)
  • 应用
  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 电子拉丝装置
  • 不喜欢振动的精密分析仪

    规格

    PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX
    目标气体 标准气体 惰性气体 标准气体 惰性气体 标准气体 惰性气体
    抽速*
    (再生
    抽真空速度)
    0.03米3/s(N2 抽气

    0.013米3/s(氩气
    抽气)

    0.045米3/s(N2 抽气

    0.016米3/s(氩气
    抽气)

    0.10米3/s(N2 抽气

    0.05米3/s
    (氩气
    抽气)
    极限压力 10-9Pa
    工作压力*3 <8.0×10-3Pa <5.0 x 10-3Pa
    内部容积 0.67 x 10-3m3 1.3×10-3m3 3.3×10-3m3
    元素编号 CU sell×1 AU sell×1式 CU sell×1 AU sell×1 CX sell×1 AX 卖×1
    连接法兰类型 UFC070系列 UFC114系列 UFC152系列
    施加电压 直流+7.5kV

    加热器电源
    单相 无设置 AC200V,300W 交流200V,320W
    烘烤温度 250°摄氏度
    重量 9.5 千克 12公斤 37公斤
    尺寸 宽 x 高 x 深 103×183×187毫米 153×204×241毫米 155×336×340毫米
    操作
    环境
    温度 5~40°摄氏度
    湿度 85%以下(无冷凝)
    泵固定螺栓孔 4 分-M5
    深度 10mm
    4 分-M8
    深度 6mm
    推荐控制器 GST-07L-B型

    * 使用 GST-07L 时的价值。

    PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII
    目标气体 标准气体 标准气体 惰性气体 标准气体 惰性气体
    抽速*
    (再生
    抽真空速度)
    0.11米3/s(N2 抽气

    0.2米3/s(N2 抽气

    0.02米3/s
    (氩气
    抽气)
    0.36米3/s(N2 抽气

    0.19米3/s
    (氩气
    抽气)
    极限压力 10-9Pa 10-10Pa
    工作压力*3 <4.5x10-3Pa <3.8×10-3Pa <3.0x10-3Pa
    内部容积 6.5×10-3m3 11×10-3m3 14×10-3m3
    元素编号 AU sellx1
    CX sell×2 AX sell×2 CX sell×4 AX sell×4
    连接法兰类型 UFC152系列 UFC203系列
    施加电压 直流+7.5kV
    加热器电源
    单相 无设置 交流200V,600W 交流200V,800W
    烘烤温度 250°摄氏度
    重量 36.5千克 65公斤 124公斤
    尺寸 宽 x 高 x 深 171×387×293毫米 296×361×376毫米 296×544×376毫米
    操作
    环境
    温度 5~40°摄氏度
    湿度 85%以下(无冷凝)
    泵固定螺栓孔 4 分-M6
    深度 15mm
    4 分-M8
    深度 15mm
    6 分-M8
    深度 15mm
    推荐控制器 GST-07L-B型

    * 使用 GST-07L 时的价值。

    PST系列控制器

    GST-07L-B
    输入规格 输入电压、
    电流
    AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A
    AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A
    漏电流 6mA以下
    输入电压
    重新洗 牌
    手动(使用DIP开关内部的电源操作)
    输出规格 额定电压 直流+7.5kV
    输出电流 额定电流 小于DC30mA
    输出极性 正极性
    输出属性 恒压特性
    显示方式 数字显示(7 段 LED)
    显示内容 输出电流 1μA~30mA(自动选择两个量程:mA、μA)
    输出电压 0.0~7.5 kV 直流
    压力显示 1×10-8~1×10-2
    1×10-10~1×10-4毫巴
    压力设定点 2 积分
    保护功能 错误显示/多种保护功能可选
    高压 (HV) 输出关断(ERR. 0 至 8 灯)
    停电后恢复 当 HV-ON 开关打开时,电源故障后可
    自动恢复。
    外部控制功能 提供各种输入/输出功能(带REMOTE连接器),
    配备RS-232C通信控制。
    监控终端 信号输出与 7 段面板显示成比例,
    每个范围的 DC 0 至 10V 满量程
    允许负载阻抗100kΩ以上。
    远程/本地 可在前控制面板上切换
    冷却方式 Foreced风冷
    重量 身体 4.0千克
    尺寸 W×H×D 200 x 99 x 370 mm(不包括机架安装夹具)
    环境工作
    条件
    温度 0 至 40°C
    湿度 小于 85%(非冷凝)
    适用标准 CE、cTUVus

    抽速曲线

    • PST-030CU_AU
    PST-030CU-AU_curve.png
    • PST-050CU_AUPST-050CU_curve.png
    • PST-100CX_AX
    PST-100CX-AX_curve.png
    • PST-110AU型PST-110AU_curve.png
    • PST-200CXII_AXIIPST-200CX-AX_curve.png
    • PST-400CXII_AXIIPST-400CX_curve.png

    尺寸图

    • PST-030CU_AUPST-030_JE1.png
    • PST-050CU_AUPST-050_E.png
    • PST-100CX_AXPST-100_E.png
    • PST-110AU型PST-110_JE.png
    • PST-200CXII_AXIIPST-200_E.png
    • PST-400CXII_AXIIPST-400_E.png


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