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产品详情
简单介绍：
晶圆中含有的杂质氧、碳、氮对晶圆的性能有重大影响。傅里叶变换红外分光光度计晶圆反射率测量系统是通过在FT/IR样品室中安装专用台，可以对*大12英寸晶圆进行透射和反射测量的系统。也可以使用专用软件执行映射测量。
详情介绍：
无损、非接触式评估
由于它使用红外光，因此可以非破坏性且非接触地评估样品。
高精度和重复性
充分利用JASCO的FT/IR功能，可以进行高精度、高再现性的测量。
兼容各种标准
兼容JEITA、JEIDA等各种标准。
硅中的碳浓度：JEITA-EM-3503
硅中的氧浓度：JEIDA-61-2000
硅中的氮浓度：JEITA-EM-3512
非晶硅中的氢浓度
氮化硅膜中的氢浓度
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