ULVAC爱发科涡轮分子泵 UTM3400A-MS 北崎国际贸易（北京）有限公司

显示全部 >>

产品详情

所在位置: 首页> 产品目录> ULVAC爱发科> 真空泵>

查看大图

产品名称：ULVAC爱发科涡轮分子泵
产品型号：UTM3400A-MS
产品厂商：ULVAC爱发科
产品文档：

你添加了1件商品查看购物车

简单介绍：

这是一款涡轮分子泵，带有使用磁浮轴承的独立控制器。我们有一系列抽速为 300 至 4000 L/s 的型号。控制器单元可以监控运行状态，支持各种通信标准。

详情介绍：

新品推荐

这是一款涡轮分子泵，带有使用磁浮轴承的独立控制器。我们有一系列抽速为 300 至 4000 L/s 的型号。控制器单元可以监控运行状态，支持各种通信标准。

特征

分离泵体和控制器
控制器可以监控运行状态，支持各种通信标准。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计灵活。
抽速 300L/s 至 4000L/s 级产品阵容
泵旋转可变范围为 25% 至 100%
通过改变转速来实现腔室中的压力调节。
高耐久性和**性
通过**确认测试，如空气冲入测试和触地测试。

应用

主要真空泵系统
设备 - 半导体设备
- 蒸发器，溅射系统
- 分析设备，实验装置等
主要真空泵系统用于不产生副反应产物的轻工艺。
一般用于高真空抽真空系统。

规格

表1

型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
出口端口			KF25型				KF40型
冷却方式			水冷	风冷	水冷	风冷	水冷	风冷	水冷	风冷
极限压力 *1		爸爸	10^-7				10^-8
抽速 *2	N2型	L/秒	320		420		800		1080
	氩	L/秒	ー
	他	L/秒	340		360		800		930
	H2型	L/秒	320		340		700		790
压缩率	N2型		1×10⁹
	他		8×10⁴
	H2型		1×10⁴				4×10³
大入口压力 3		爸爸	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
大出口压力 3		爸爸	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5分钟或更短
安装位置			在任何期望的方向上
表面处理			镀镍
冷却水	流量	L/分钟	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー
	压力	MPaG系列	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー
噪声		分贝（A）	60
重量		公斤	14				33		32
推荐的前级泵			200L/minor 更多				500L/minor 更多
控制器	组成		分离式
	输入电力		单相AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz）
	*大功率		0.55				1.0
	速度变化		速度在额定速度的 25% 和 100% 之间变化（设置为 0.1%）
	通信		联系
			型号：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示数字。
*2：无防护网。
*3：*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。

表2

型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
进气口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
出口端口			KF40
冷却方式			水冷
极限压力 *1		爸爸	10^-7
抽速 *2	N2型	L/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	氩	L/秒	ー		2000	3100	4200
	他	L/秒	1050	1200	2240	3100	ー
	H2型	L/秒	750	800	1770	2200	2600
压缩率	N2型		6×10⁸		1×10⁹
	他		1×10⁴		7×10⁴	1×10⁵	3×10⁴
	H2型		1×10³		3×10³	6×10³	2×10³
大入口压力 3		爸爸	133		40
大出口压力 3		爸爸	270		270
转速		转速	30300		27000	27600	24000
启动时间			7分钟以内		11分钟以内	12分钟或更短	18分钟或更短
安装位置			在任何期望的方向上
表面处理			镀镍
冷却水	流量	L/分钟	1~3		2~4
	压力	MPaG系列	02~0.5
噪声		分贝（A）	60		57	60
重量		公斤	39	42	70	84	105
推荐的前级泵			600L/次要更多		1300L/minor 更多	1500L/minor 更多
控制器	组成		分离式
	输入电力		单相AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz）
	*大功率		1.0		1.5
	速度变化		速度在额定速度的 25% 和 100% 之间变化（设置为 0.1%）
	通信		联系
			型号：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示数字。
*2：无防护网。
*3：*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

京公网安备 11030102010384号