产品详情
  • 产品名称:SHIBAURA芝浦机电油旋转真空泵

  • 产品型号:DRP-180YII
  • 产品厂商:SHIBAURA芝浦机电
  • 产品文档:
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简单介绍:
电机耦合油旋转真空泵DRP系列
详情介绍:

* 规格或建议零售价如有更改,恕不另行通知。

预防 措施

  • 我们的油旋转真空泵的设计和制造基于以下用途。
    (1)吸入气体类型:空气和惰性气体(N)
    2, 一氧化碳2、氦、氖、氩、氙、锰......
    (2)吸入气体温度5~40°C
    (3)环境温度5~40°C
    (4)常压 泵压约1.3×10
    2Pa以下
    (5) 其他 较少重复真空和大气。 切勿吸入水或其他液体。
    * 如果使用条件与上述不同,请与我们联系。
  • 请注意,在以下应用中使用时,标准真空泵的使用寿命会缩短。
    (1)腐蚀性气体(Cl
    2覆 铜板4、CF4、BBr3、HBr ...)
    [示例] 离子注入、蚀刻、CVD 等
    * 即使在特殊规格的真空泵的情况下,也不要吸入高度易燃或挥发性物质。
    (2)大量水蒸气、化学品、溶剂、粉末等的排放。
    (3)当常压为1.3kPa以上时。
    (4)当真空和大气的重复频率很强时。
    (5)不要吸入氨气。

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