产品详情
  • 产品名称:SHINKUU真空设备型台式高真空沉积系统

  • 产品型号:VE-2013
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
VE-2013 是一种简化的真空沉积系统,继承了 VE-2030(由我们公司制造)的概念。 紧凑的外壳,外壳中内置 TMP。 由于它是桌面类型,因此不会占用太多空间。 RP 是落地式安装的。
详情介绍:


紧凑的TMP+RP排气系统以低廉的价格提供清洁的高真空气相沉积系统。 消除了复杂的排气操作,它是一种全自动控制,只需打开/关闭触摸面板开关。

通过使用钨篮,可以气相沉积金、铝、铬、银等。 对于碳沉积,使用夹式沉积枪类型使用特殊碳(SLC-30)沉积碳。 (不能使用φ5mm碳棒。 )


在购买时,我们将选择碳气相沉积电极或金属气相沉积电极。 或者,可以购买额外的电极。

碳气相沉积电极
 这是一种
专用的碳气相沉积电极。
它可以在高真空区域进行碳沉积,并且可以进行具有优异的薄膜质量和薄膜强度的碳沉积。
随附的防污罩将碳气相沉积的散射范围降至*低,并减轻了清洁负担。
碳气相沉积源是专用碳(SLC-30)。
金属气相沉积电极 这是一种用于φ0.5mm钨篮的
金属气相沉积电极

金、铝、铬等的气相沉积可以轻松自如地进行。 随附的防污盖*大限度地减少了沉积范围并减轻了清洁负担。

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V(单相100V15A)
设备大小 宽 428 mm,深 430 mm,高 550 mm
(设备重量 38 kg)
旋转泵(外部) 抽速:50l/min(G-50DA)(
重量:11kg)
涡轮泵(内置装置) 抽速:67升/秒
样品台 直径 72mm
沉积源-样品表间距 可调范围:0mm~140mm











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