产品详情
  • 产品名称:SHINKUU真空设备磁控降低污染物附着力

  • 产品型号:TVS-40T
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
  • 产品文档:
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简单介绍:
该设备将 TEM 支架存放在无油真空下。 通过使用该设备,可以显着降低污染物的附着力。 它存放在单独的真空室中,可以单独进出。 TEM 支架端口是根据您使用的 TEM 支架制造的。
详情介绍:

关于TEM Holder
配备 4 个 TEM 支架端口。 创建一个与您的支架相匹配的端口。 可以处理TEM制造商的特殊支架。
得益于独立的排气系统,当更换支架时,其他存储支架不会暴露在大气中。 带有玻璃窗,透过该窗口可以看到每个支架样品(NW40 法兰)

操作
配备触摸屏,操作方便。 配备自动排气排序和程序控制联锁控制。
当泵计划进行维护时,我们将通过在屏幕上显示来通知您。

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V、10A。 使用带地线的 3 芯插头。
设备大小 宽度 585 mm,深度 555 mm,高度 392 mm(深度尺寸因 TEM 支架而异)
(设备重量:36 kg)
排气系统 20L/min隔膜泵(外置) 67L
/sec涡轮分子泵(内置设备)
*大真空度 5x10-4Pa以下
真空度测量 全范围真空计

关于选项

灯加热装置
加热方式:采用带凹面镜的卤素灯加热。
散热方式:风机风冷散热。
温度控制:热电偶测温PID控制,带电子定时开关。
控制电源尺寸:535 W x 550D x 185 H
等离子清洗装置
电源:AC100V(单相100V)3A,3芯插头,带地线
清洗目标:去除污染物,防止电子束照射沉积的粘附。
气体介绍:针阀手动调节,电磁阀为气体推杆ON/OFF方式
等离子气体:空气、氩气、氩气/氧气等。 **
措施: 每个系统的
保险丝 等离子电源:频率 13.56 MHz,输出 0 ~ 50 W 可变,输出指示 带
等离子点火指示灯的数字仪表,等离子照射时间控制电子
定时器:0~1,2,3,12,30/秒,分钟,小时 各自由设置.电子定时器
等离子电源尺寸:250W x 300D x 135H 重量 9Kg
等离子喷枪尺寸:70mmΦ x 220L 等离子喷枪安装 NW-40
气体:0.08~0.1 MPa,管道 1/4“ Swagelock(气瓶和减压阀由用户准备)

* 由于 TEM 支架的形状,灯加热和等离子清洗装置端口的使用受到限制。
特别是,不可能共享来自不同制造商的持有人。

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