产品详情
  • 产品名称:SHINKUU真空设备自动涂装功能凯焊机

  • 产品型号:MSP-12in
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
配备大面积样品台,支持12英寸晶圆。 磁控管系统用于减少涂层电压为500V或更低时的离子损伤。 自动涂装功能从脱气到常压气体引入和涂装都是全自动的。 它配备了一个向前滑动的样品台,便于装卸样品。 通过附着Ag靶材,可以很容易地对透明薄膜进行光泽处理。
详情介绍:

根据涂层面积的差异,可提供 12 英寸型和 12S 型!

MSP-12in

目标尺寸的直径为 12 英寸(直径 300 毫米),可均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。 它可用于涂布大面积和涂布大量样品。

MSP-12S
目标电极的直径为 50 mm。 当您想要涂覆大面积样品的一部分(例如 12 英寸晶圆)时,可移动目标非常有用。 通过减小电极的尺寸,可以降低运行成本。 也不需要裂解大型晶圆。

主要产品规格

项目 规范
权力 带地线的单相 AC100V15A 3 芯插头
设备大小 宽 450 mm,深 440 mm,高 427 mm
(设备重量 30 kg)
旋转泵 G-101D 宽 234 毫米,深 500 毫米,高 264 毫米,重量
25Kg
涂装室尺寸 内径330mm,高80mm
目标电极尺寸 直径 300mm
样品台 直径 300mm
有关氩气设备的信息

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