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- ORIHARA折原应力仪
产品详情
简单介绍：
该装置是带有磁控管目标的金属涂层装置。 它用于 8 英寸晶圆等大面积样品和大量样品的同步处理。
MSP-8in的目标电极沿目标金属表面形成多同心磁场，通过将电子捕获在该磁场中，提高等离子体离子密度以溅射目标金属。 磁场的强度结构使得粘附的金属膜的厚度从目标的中心到外围是均匀的。
详情介绍：
主要产品规格
| 项目 | 规范 |
| 权力 | AC100V（单相100V）15A 3芯插头，带地线 |
| 设备大小 |
宽 450 mm，深 400 mm，高 372 mm （设备重量：36.9 kg） |
| 旋转泵 |
宽234mm，深500mm，高264mm G-101D （重量25kg） |
| 涂装室尺寸 | 内径230mm，高60mm |
| 目标电极尺寸 | 直径 200mm |
| 试样载物台尺寸 | 直径 210mm |
| *大样品尺寸（晶圆） | 直径 200mm |
| 涂层不均匀 | ± 10% 以下 |
产品留言
