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简单介绍：
内置编码器全闭环控制，带编码器的高精度定位滑台。
通过专用驱动器对5相步进马达及光栅尺进行反馈控制，实现高精度定位。
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【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可选】
新增直动滑台9个机型，水平面Z轴滑台3个机型。
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