产品详情
  • 产品名称:TOKYOKEISO东京计装超声波流量计

  • 产品型号:SFC-010L
  • 产品厂商:TOKYOKEISO东京计装
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简单介绍:
详情介绍:

UCUF-02M/SFC-010L是一款用于液体的超声波流量计。 可高精度测量纯水、超纯水、各种化学溶液等的微小流量。 测量管道的直径为2.5 mm,涵盖了传统UCUF超声波流量计难以测量的微小流量范围。 所有接液部件均由半导体行业的PFA组成,具有理想的清洁结构,没有移动部件,也没有容易积液的密封部件,使其成为半导体制造设备等需要清洁的工艺的理想选择。 流量计的入口和出口部分是标准尺寸的管子,可以连接到各种PFA配件。



特征

  • · 这种小直径
    超声波流量计成功地测量了超声波在内径φ2.5 mm的管道中的传播,这是难以测量超声波传播的。
  • · 微量*小
    满量程设置范围:0 ~ 10 mL/min
  • · EMC符合标准:EN61326-1
  • · 符合 RoHS 标准
  • · 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
  • · 理想的清洁结构检测器
  • · 耐腐蚀,易于安装
  • · 精度:在指示值的 ±1% 以内(流速为 25 mL/min 或更高时)

主要用途

  • · 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
  • · 各种化学品注入过程的流量测量
  • · 高腐蚀性液体的流量测量
  • · CMP 浆料流量测量
  • · 其他,小~中直径过程液体流量测量
  • · 适用于清洁设备和CMP设备的流量测量和控制

主要规格

探测器规格

格式 UCUF-02M
流体 一般液体(不含气泡和PFA的液体可渗透或侵蚀)
流量 *大 0 ~ 100 毫升/分钟 *小 0 ~ 10 毫升/分钟 *满量程设置为 10 毫升/分钟

步进
精度 ±1% RD(25毫升/分钟或更高) ±0.25毫升/分钟(小于25毫升/分钟)

*冲洗20°C的水时。
温度 10 ~ 90°C
压力 0 ~ 0.5 兆帕
连接直径 1/4“ PFA 管端
材料 聚苯乙烯
结构 IP65 (室内)
电缆 5米(典型值)

转换器规格

格式 SFC-010L
显示 4 位 LED,瞬时流速(毫升/分钟)
输出
1) 电流输出:
DC4-20 mA(负载电阻500 Ω以下)
2)频率输出:
集电极开路脉冲
负载额定值:DC 30 V,10 mA 0 ~ 1000 Hz
3)报警输出:
集电极开路(2点)
额定负载:DC 30V,10mA
权力 直流 24 V ±10 %
结构 IP20 (室内)
安装 导轨安装


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