产品详情
  • 产品名称:TOKYOKEISO东京计装超声波流量计

  • 产品型号:UCUF-06K
  • 产品厂商:TOKYOKEISO东京计装
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简单介绍:
详情介绍:

UCUF-K系列液体超声波流量计是专为超纯水和各种化学品的小流量测量而设计的流量计,由UCUF-K检测器和SFC传感器组成。 UCUF探测器的所有接液部件均由半导体行业的PFA组成,没有容易积液的运动部件和O形圈等机械密封。 由于其理想的清洁结构,该流量计非常适合需要高度清洁的过程,例如半导体设备。



长处

  • · EMC合规标准:EN61326-1:2013 / EN61326-2-3:2013
  • · 符合 RoHS 标准
  • · 测量运动粘度高达 40 mm²/s 的高粘度流体
  • · 精度在指示值的 ±1% 以内(流速为 1 m/s 或更高时)
  • · 宽范围(典型值为 100:1)
  • · 理想的清洁结构检测器
  • · 耐腐蚀,易于安装

主要用途

  • · 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
  • · 各种化学品注入过程的流量测量
  • · 高腐蚀性液体的流量测量
  • · CMP 浆料流量测量
  • · 其他小~中径过程液体流量测量
  • · 适用于清洁设备和CMP设备的流量测量和控制

主要规格

探测器规格

口径 4毫米、6毫米、10毫米、15毫米、20毫米
测量对象 一般液体(没有气泡的液体,混合物必须均匀溶解)
流量范围 *小: 0 ~ 0.8 升/分钟 (04K), *大 : 18.8 ~ 80 升/分钟 (20K)
流体声速 1000 ~ 2200 米/秒
流体运动粘度 0.3 ~ 40毫米²/秒
流体温度 +10 ~ +60°C
流体压力 0 ~ 0.5兆帕(G)
接液部件材料 新的PFA
过程连接 PFA 管端

兼容的变送器

格式 SFC3000 SFC4000
如何安装 导轨安装 面板安装
外观 超声波流量计变送器 SFC3000 超声波流量计变送器 SFC4000


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