规格

泄漏量（Pa·m3 / s）	1×10 -8 以下
使用面积（Pa）	105 至10-5 _
所需气压（MPa·G）	0.4 至 0.6
生命周期	1× 106
机身材质	A5056
阀门盘根	氟橡胶O型圈
轴封	氟橡胶O型圈
接近开关	选项
耐热工作温度	150℃以下（60℃以下带接近开关）

*本表所列以外的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）也可生产。

*由于改进，本规格如有更改，恕不另行通知。