产品详情
  • 产品名称:日本FUJI-US富士工业单组分浓度计

  • 产品型号:FUD-1 型号-13
  • 产品厂商:FUJI-US富士工业
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简单介绍:
在保持FUD-1 Model-13的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,该型号还具有用于半导体制造工艺的小型蜂窝变送器。
详情介绍:
日本FUJI-US富士工业单组分浓度计FUD-1 型号-13




单组分浓度计的特点

可以进行实时浓度测量,从而轻松构建浓度管理系统。

  • 标配模拟DC4~20mA和数字RS232C
  • 测量误差输出和报警输出为标准设备
  • 标配自诊断功能和错误信息显示
  • 紧凑轻便的电池变送器可直接安装在生产线上
  • PFA接液部件材料,小输出设计对化学液体没有影响。


优点

  • 实现高精度的连续测量
  • 无需定期调整或校准,免维护
  • 安装简单,安装时无需进行各种调整
  • 实时输出,便于反馈到过程

  • CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等
  • 控制稀释过程中的各种化学浓度(H2O2、四甲基氢氧化铵、HNO3、H2SO4、HCl 等)
  • 控制清洗过程中的清洗液浓度(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
  • 控制蚀刻过程中的蚀刻液浓度(HF、H2SO4 等)



规范

格式 FUD-1 型号-13
测量参数 超声波传播速度和温度
指示 LCD(浓度、温度、声速/各种参数)
输出信号 模拟DC4~20mA(浓度值可自由设定) 数字RS232C(浓度,温度,声速,错误代码)

报警上限和下限 测量异常
权力 AC100V~240V 50/60Hz (也可使用DC24V)
结构 面板安装类型(符合DIN标准)/面板安装类型(可作为选件集成到防雨箱中)
环境温度 0~50°C 相对湿度 85%以下(无冷凝) 0~100°C特殊规格 -10~160°C(宽度100°C)
功能 输出范围设置、报警输出设置、浓度显示移动平均、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除 RS485输出(无法与RS232C同时
输出)
选择 温度输出(DC4~20mA)
渠道 *多 10 路
兼容的变送器 型号-13SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5


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