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产品详情
简单介绍：
通过采用高输出灯管，优异的光学技术投影镜头，来实现高效高解析度的曝光。
详情介绍：
日本USHIO牛尾RtoR投影式光刻机UFX系列
通过采用高输出灯管，优异的光学技术投影镜头，来实现高效高解析度的曝光。
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