产品详情
  • 产品名称:日本USHIO牛尾投影式光刻机

  • 产品型号:UX-4系列
  • 产品厂商:USHIO牛尾
  • 产品文档:
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简单介绍:
牛尾长年开发经验,集光源・光学技术,采用独自的大面积投影镜头技术研发的背投式对准光刻设备。 到8英寸为止的晶片可在非接触下模式下也可以一起对准光刻曝光。 适用于深度焦点非平面晶片,实现接近式曝光为数不多的高生产性、高成品率。
详情介绍:

日本USHIO牛尾投影式光刻机UX-4系列

  • 搭载超高压UV灯
  • 值得称赞的高度均一的照射光学系统
  • 为数不多的大面积投影镜头


主要用途:



  • IGBT

  • 分立器件

  • MEMS

  • LED

  • 水晶

  • 通信滤波器

  • 射频器件




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