精度范围±1%S.P.的高性能数字式质量流量计。
搭载LINTEC**的环境温度补足式质流传感器，可实现高速测量。
与传统传感器相比，可以在更低的温度下以更高的精度测量质量流量，因此寿命更长。可对应容易被高温热分解的气体，如O3。
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 使用温度5～50℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 环境温度补足式质流传感器
- RS-485通讯接口
规格表
| 温度 | 压力规格 | 精度 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFM。特别定制规格请详细咨询LINTEC。
