ULVAC爱发科陶瓷隔膜真空计 CCMT-1000D 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科陶瓷隔膜真空计
产品型号：CCMT-1000D
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

CCMT-D系列、陶瓷隔膜根据气体的压力变化发生变形、电容式真空计根据静电容量的变化检测压力。

详情介绍：

CCMT-D系列、陶瓷隔膜根据气体的压力变化发生变形、电容式真空计根据静电容量的变化检测压力。
传感器部由陶瓷一体构造，具备优良的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量**压力)，能够高精度地测量。CCMT-D系列、陶瓷隔膜根据气体的压力变化发生变形、电容式真空计根据静电容量的变化检测压力。
传感器部由陶瓷一体构造，具备优良的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量**压力)，能够高精度地测量。

特点

长期稳定
使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置式温度补偿回路
采用新结构保护传感器免受污垢
可以通过按钮进行零点调整

用途

用于成膜设备工艺中的压力监控
用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控

规格

型		CCMT-D型
量程满量程	CCMT-1000D型	133kPa （1×10³托尔，1.33×10³mbar） F.S.
	CCMT-100D型	13.3kPa （1×10²托尔，1.33×10²mbar） F.S.
	CCMT-10D型	1.33kPa （10 Torr， 13.3 mbar） F.S.
	CCMT-1D型	133Pa （1 Torr， 1.33 mbar） F.S.
分辨率		满量程的0.003%
精度 *1		±0.2%±相对于显示值的温度系数（该值表示精度零点调整）
温度系数	零电压	0.015% F.S. / °C
	跨度电压	0.01% R/°C
工作温度范围		10 至 50°C（50 至 122 °F）
回复率		30ms以下
气体接触段材料		Al₂O₃、Vacon70 2、SUS316 3、微晶玻璃焊料、Ag Ti Cu硬焊料
输入功率		DC14~30V，1W
输出		DC 0 至 10V F.S.
重量		329克
尺寸		55毫米×117毫米
温度补偿		内部温度补偿电路
电连接器		D-sub 15 针公头（4-40 号，DNC 螺丝）

*1 ：非线性、滞后、在25°C（77°F）环境工作温度下无弹力效应，运行2小时后，零标准调整
后无张力效应*2 ： 28% Ni， 23% Co， 49% Fe
*3 ： 18% Cr， 10% Ni， 3% Mo， 69% Fe

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产品名称：ULVAC爱发科陶瓷隔膜真空计

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